节也是。
国产半导体全产业链自主化道路,任重道远。
罗晟沉声道:“目前业界的消息是,明年抬积电和三星都已经成功将euv技术导
10纳米并开始量产,在高端芯片制造领域,我们现在已经是处于顶尖梯队了,光源搞定了,但一些技术和材料依然是一个巨大的挑战,就是进
摩尔定律新的篇章之后,9纳米以下的工艺需要降低成本,分辨率更高的极紫外光刻胶技术。”
光刻胶,这就是下一个技术痛点了。
众
也都猜到了罗晟要讲什么了,如今的半导体工艺被推展至10纳米制程,但是实现特定图形变得越来越困难,并且多重曝光也带来了生产成本的上升。
罗晟继续道:“引
极紫外光刻技术后,其所扮演的角色是最新逻辑工艺的关键光刻层,在芯片制造商被引
之前,极紫外是有光刻机、光源、光刻胶和光掩膜组成。”
众
默默的点
,之前极紫外光刻技术的临界多在光源,因为光源的功率不足会影响芯片的生产效率。
而光源问题解决之后,新的挑战即是光刻胶技术的限制了。
……
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