用眼前这些简陋的设备能做到顶级加工?
但用脑子想了想,蔡司公司的专家就否决掉了这种想法。
应用顶级的短波极紫外光的光刻机,也就是EUV光刻机,它离轴反
系统有它非常独特的难点,这不是一般的投
镜片加工方式能做到的。
比如说其中的难点之一:‘离轴高
度非球面加工’。
如果按照轴对称非球面加工,这个系统的
径会超级大,最大可到540mm
径,加工难度可见一斑。
而这仅仅还是轴对称加工,轴对称加工完成后可以再磨外缘到离轴镜片状态,这样可保证加工和测试
度。
而应用于顶级EUV上的离轴高
度非球面加工在此基础上又做了一次难度相当大的升级。
如按照单片离轴非球面镜片加工,镜片尺寸基本为实际尺寸,那么结果会比补全轴对称尺寸小了很多。
但离轴非球面镜片量测又是个大问题。
除此之外,离轴非球面系统装配也是个超级难点。
不比DUV光刻机,DUV的轴对称系统装配有比较好的量测设备支持,所以很多国家都能研发两位数纳米级的光刻机。
但当轴对称过渡到离轴非球面装配时,由于顶点位置已经失去,定心会非常困难。
像顶级的EUV光刻机中的光源系统物理总长足足有一点三米,而定心不准导致的离轴偏心的影响将非常严重。
剩下其他大大小小的问题更是多不计数。
比如镜片的折
率、集光效应、穿透效率、吸收效应等等各种问题都是需要解决的。
不然全世界也不会只有一家蔡司了。
蔡司完全可以说,如果没有他们的光学镜
,那么阿斯麦的极紫外(EUV)光刻机便无从谈起。
这是一家拥有近两百年历史公司的底蕴、自豪和傲视。
然而现在,眼前直播间里面的那个
,却打
了这一切。
利用几十年前的工业设备,就能制造出顶级的分布式布拉格反
器,甚至能应用到极紫外光上。
如果不是吹
的,那他的科技,到底有多可怕?
但问题是,对方好像从来都没有吹
过。
从他
中说出来的话,基本都已经实现了。
甚至在很对已经展示出来的科技上,完全可以说是极度谦虚了。
比如‘电热-离子注
法’,这种能在某种程度上完全代替离子注
的化学离子渗透法,现实检测远比这名主播说的要更加优秀。
风车国的某顶级离子注
机生产公司甚至还因为这种方法的出现而导致
价大跌。
九
牛都拉不回来的那种,现在是要
到他们了吗?
尽管应用于顶级光刻机上的布拉格反
器只是蔡司的极小一部分产物。
但公司整体的
价却会受到极大的影响的。
当其他国家也能生产顶级的‘布拉格反
器’时,原先垄断的地位,瞬间就没了。
而垄断,才是最挣钱的。
.......
对某些国家和某些公司的一片愁云和混
,大部分的国家心
反而如晴天一般。
特别是东亚怪物圈这边。
顶级的光刻机,真的就是有钱你都买不到。
比如华国,中芯国际花了十个亿在几年前向AMSL买了一台EUV级的光刻机。
然而钱打过去,几年的时间都过去了,都依旧没收到货。
其最大的阻力来自于《瓦森纳协定》。
这条协定虽然号称是自由的,但事实上是由米国在背后
控。
正是因为这个协定,所以华国想要购买的光刻机一直没有拿到许可证。
即便是
了钱,也不给你货。
最恶心的是还不退钱。
当然如果是中低端光刻机的话并不会遭到限制,但购买这种中低端产品根本就没有什么实质
的意义。
你在电脑手机等设备上上一个低端的芯片,那不是扯淡吗?谁要啊?
即便是
国,但老百姓的钱也不是大风刮来的好吗?
.......
模拟空间内,韩元知道自己的话肯定会在现实中掀起巨大波
,但这是他故意的。
顶级的‘分布式布拉格反
器’是顶级光刻机中最重要的零件之一。
相对比光源来说,华国在顶级‘分布式布拉格反
器’的制备上可以说没有任何基础。
光学这一门科学就是这样,它没有任何捷径,只能踏踏实实的一点一点的走。
就像华国花费了几十年的时间,耗费了无数
力物理和钱财,才在激光科研上勉强追上第一线一样。
但这只是激光领域,而且还只是追上第一线,并非顶尖。
不过相对比顶级的各种透镜和反
镜来说,激光光源领域,华国还是有一些基础的。
所以韩元在制备光刻机的时候,选择了跳过光源,着重将目标放在了一些华国薄弱甚至是没有的领域。
........
准备好材料,韩元就开始了‘分布式布拉格反
器’的制备。
一边开始处理手中的材料,一边做对应的讲解。
“分布式布拉格反
镜是由两种或两种以上不同折
率的材料
替排列组成的周期结构。”
“每层材料的光学厚度为中心反
波长的四分之一,
替排序组成的周期结构是它能进行反
‘超短波极紫外光’的主要原因。”
“不过也正是因为这个原因,它的制备相对一般的透镜或反
镜来说要复杂很多。”
.........